KEYWORDS: GIMS, ion source, anode layer, sputtering, TiN, ion plating, medium frequency, pulsed DC.
中文关键词: 气离溅射 、 离子源 、 阳极层流 、 溅射 、 氮化钛 、 离子镀膜 、 中频 、 脉冲直流.
互联网
CopyRight © 2020-2024 在线英语词典[www.yycidian.com]版权所有 All Rights Reserved. ICP备案号:浙ICP备2024103067号