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Different dielectric material,metal wire separation,metal level separation and current density for impact of multilevel metal interconnects are calculated in detail.

研究了多层金属互连网络的热学模型,详细计算了不同的介质材料、金属线间距、金属层间距和电流密度对多层金属互连线温度分布的影响。

Different dielectric material,metal wire separation,metal level separation and current density for impact of multilevel metal interconnects are calculated in detail.

研究了多层金属互连网络的热学模型,详细计算了不同的介质材料、金属线间距、金属层间距和电流密度对多层金属互连线温度分布的影响。